Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente soll im Rahmen dieser Ausschreibung nun eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage beschafft werden, welche dem aktuellen Stand der Technik gerecht wird. Und das gelingt nun sogar günstiger als gedacht: Obwohl der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium war, setzt die JEOL (Germany) GmbH aus 85356 Freising, welche am 7.6.2022 aus zwei Angeboten ausgewählt wurde, den Auftrag für nur 1 585 000.00 EUR um. Gerechnet wurde eigentlich mit 2 200 000.00 EUR.
ls 30.9.2022